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稳定输出高纯度单模激光的模块化光学器件
VLFL-SF-T采用先进的单纵模(SLM)谐振腔设计,可稳定输出高阶模抑制比>40dB 的纯单模激光,光束质量因子 M²≤1.2,接近理想高斯光束的衍射极限(M²=1)。其光谱线宽极窄(<1MHz FWHM),在 10~35℃环境温度变化范围内,峰值波长漂移量可控制在 ±0.05nm 以内,实现了 ppm 级的波长稳定性,远超普通工业激光器的性能指标。这种高纯度光束具有能量密度集中、横模分布均匀的特点,聚焦后可形成直径<5μm 的微小光斑,为高精度检测提供了光学基础。
得益于 M²≤1.2 的高光束质量,在半导体晶圆缺陷检测中,可实现 0.1μm 级别的分辨率,较传统多模激光系统检测效率提升 40% 以上。极窄的光谱线宽(<1MHz)使其成为拉曼光谱分析的理想光源,特征峰信噪比提高 3 倍,有效缩短物质成分识别时间。在全息干涉测量中,波长稳定性保障了纳米级位移测量的重复性,实验数据置信度提升至 99.9%。
高精度单模激光输出特性
创新分体式结构设计
智能温控与稳定性保障系统
全维度安全防护机制