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Integrated Multi-Dimensional Nanopositioning Systems
High‑speed XY + 6‑axis parallel motion, zero cumulative error.
Monolithic structure, 15kg load at 50nm resolution.
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Repeatability
Travel Range
Max Load (kg)
Max Speed (mm/s)
操作
VL-6D-2520
+/- 300 nm
XY: ±12.5mm
1.0
20
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