NA0.80 聚光,平场半复消色差实现 0.34μm 亚微米成像;60mm 齐焦换镜免对焦,适配自动化产线。
应用于:
金属显微组织(马氏体 / 奥氏体)精细分析;晶圆亚微米缺陷(如氧化层针孔)定位;薄膜厚度均匀性检测。