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|---|---|---|
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VL PZT Linear Motor
产品编号: VL-PZT-L-90-T
Advantages: Full closed-loop scanning; high-precision linear encoder real-time feedback, no cumulative error in large-range movement.
Differentiation: Resolves the speed-nano-precision trade-off of conventional long-stroke stages.
Applications: Large-aperture interferometer scanning, full-wafer inspection.
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已配置规格
| Travel Range | Resolution | Max Load |
|---|---|---|
| 90 mm | 20 nm | 3.0 kg |
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