高 NA(0.80)提升聚光能力,结合平场半复消色差,实现亚微米级清晰成像;60mm 齐焦换镜免对焦,适配自动化产线。
应用于:
金属显微组织(马氏体 / 奥氏体)精细分析、晶圆亚微米缺陷(如氧化层针孔)定位、薄膜厚度均匀性检测。