NA 0.90 接近衍射极限，分辨率达 0.31μm，可检测芯片纳米级短路；平场设计保障全视场（25mm 范围）边缘与中心清晰度一致。

应用于:

半导体芯片纳米划痕检测、超精密材料（如石墨烯）微观形貌分析、金属晶界异常高倍观察（适配 DIC 模块增强立体感）。