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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜采用
无限远共轭光学系统,广泛应用于
半导体(晶圆缺陷 / 膜厚)、光学元件(表面平整度)、精密制造(零件粗糙度)等领域,支持全尺度表面测量。
纳米级非接触精度
系列化场景适配
行业通用性标杆
Overview
无限远共轭
45mm 齐焦
非接触测表面形貌与几何特征
Serivce & Support
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型号
R
NA
±D.F
WD
操作
VL CF Plan 5X TI
1.83um
0.15
12.22um
9.2mm
VL CF Plan 10X TI
0.92um
0.3
3.06um
7.4mm
VL CF Plan 20X TI
0.69um
0.4
1.72um
4.6mm
VL CF Plan 50X TI
0.5um
0.55
0.91um
3.4mm
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