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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
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VL CF Plan 50X TI
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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
产品编号:
VL CF Plan 50X TI
高 NA 带来纳米级分辨率(0.50μm),焦深较小,对平整表面的高精度测量更友好。
应用于:
半导体芯片的纳米级缺陷(如划痕、短路)检测,或光学薄膜(如光刻胶)的纳米厚度与平整度分析。
注意事项
产品图片仅供参考,并不代表所有产品。
已配置规格
NA
0.55
WD
3.4mm
R
0.5um
±D.F
0.91um
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VL CF Plan 5X TI
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