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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
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VL CF Plan 20X TI
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VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜
产品编号:
VL CF Plan 20X TI
中高倍率下进一步提升分辨率,适配
更精细的亚微米结构
,工作距离与焦深平衡。
应用于:
适用于 MEMS 器件(如微梁、微阀)的三维形貌检测,或金属材料晶界的微观分析(观测原子排列畸变)。
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已配置规格
NA
WD
R
±D.F
0.4
4.6mm
0.69um
1.72um
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型号
R
NA
±D.F
WD
操作
VL CF Plan 5X TI
1.83um
0.15
12.22um
9.2mm
VL CF Plan 10X TI
0.92um
0.3
3.06um
7.4mm
VL CF Plan 50X TI
0.5um
0.55
0.91um
3.4mm
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