无限远校正,明场消色差;50× 高倍 + NA=0.80,达 0.34μm 纳米级分辨率,但工作距短、焦深浅,对样本平整度要求高。
应用于:
纳米级精细结构的明场观测,如半导体器件纳米线、金属晶界微观形貌,或超薄切片超微结构分析。