VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜

VL CF Plan TI/DI 白光干涉物镜采用无限远共轭光学系统,广泛应用于半导体（晶圆缺陷 / 膜厚）、光学元件（表面平整度）、精密制造（零件粗糙度）等领域，支持全尺度表面测量。

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Overview

VL CF Plan 5X TI

非接触式纳米级高精度测量

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VL CF Plan 10X TI

非接触式纳米级高精度测量

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VL CF Plan 20X TI

非接触式纳米级高精度测量

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VL CF Plan 50X TI

非接触式纳米级高精度测量

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